이봐! 저는 FZ 실리콘 잉곳의 공급 업체이며,이 사업에 꽤 오랫동안 근무했습니다. FZ 실리콘 잉곳의 성장을 만들거나 깨뜨릴 수있는 가장 중요한 요소 중 하나는 종자 결정의 품질입니다. 이 블로그에서는 종자 결정 품질이 FZ 실리콘 잉곳 성장에 어떤 영향을 미치는지 깊이 파고들 것입니다.
먼저, 씨앗 크리스탈이 무엇인지 이야기합시다. 시드 크리스탈은 작은 단일 결정 재료의 작은 조각입니다. FZ (Floating Zone) 실리콘 잉곳 성장의 경우, 종자 결정은 결정화 과정을 개시하는데 사용된다.
종자 결정의 품질은 성장하는 잉곳의 방향에 직접적인 영향을 미칩니다. 고품질 종자 크리스탈은 잘 정의 된 결정 방향을 가지고 있습니다. 종자 결정의 방향은 전체 잉곳의 방향을 결정하기 때문에 매우 중요합니다. 종자 결정에 정확한 방향이있는 경우, FZ 실리콘 잉곳은 일관되고 예측 가능한 방식으로 성장합니다. 예를 들어, <100> 방향 FZ 실리콘 잉곳을 원한다면 고품질 <10> 방향 종자 결정이 필수적입니다. 종자 결정에서 방향이 꺼져있을 때, 잉곳은 여러 방향으로 성장하거나 결함이있을 수 있으며, 이는 유용성을 크게 줄일 수 있습니다.
또 다른 측면은 종자 결정의 순도입니다. 종자 결정의 불순물은 원치 않는 결정 성장을위한 핵 생성 부위로서 작용하거나 성장하는 잉곳에 통합 될 수있다. 고 순도 FZ 실리콘 잉곳을 생산하려면 고 순도 종자 결정이 필요합니다. 종자 결정의 소량의 불순물조차도 최종 잉곳에서 불순물의 존재로 이어질 수 있습니다. 이러한 불순물은 저항 및 캐리어 이동성과 같은 실리콘의 전기적 특성에 영향을 줄 수 있습니다. 예를 들어, 종자 결정에 금속 불순물이있는 경우, 실리콘의 밴드 갭 내에 추가 에너지 수준을 생성하여 전기 행동을 변경할 수 있습니다.
종자 결정의 구조적 무결성은 또한 큰 중요합니다. 탈구 또는 미세 균열과 같은 내부 결함이있는 종자 결정은 이러한 결함을 성장하는 잉곳으로 전파 할 수 있습니다. 탈구는 전자와 구멍의 움직임에 대한 장벽으로 작용하여 잉곳으로 만든 반도체 장치의 효율을 줄일 수 있습니다. 마이크로 - 균열은 성장 과정에서 또는 가공 중에 잉곳이 파손될 수 있습니다. 구조적으로 사운드 시드 크리스탈은 이러한 원치 않는 결함없이 잉곳이 자라도록합니다.
이제 종자 크리스탈의 표면 품질이 어떻게 중요한 역할을하는지 살펴 보겠습니다. 종자 결정의 표면은 매끄럽고 오염 물질이 없어야합니다. 거친 표면은 종자 결정과 용융 실리콘 사이의 계면에서 고르지 않은 성장을 일으킬 수 있습니다. 표면의 오염 물질은 용융 실리콘과 반응하거나 2 차 결정 성장을위한 핵 생성 지점으로 작용할 수 있습니다. 이는 대부분의 반도체 응용 분야에서 바람직하지 않은 잉곳에서 다결정 영역의 형성으로 이어질 수있다.
FZ 실리콘 잉곳의 성장 속도와 관련하여 종자 결정의 품질도 영향을 줄 수 있습니다. 고품질 종자 결정은보다 안정적이고 제어 가능한 성장률을 허용합니다. 종자 결정이 우수한 열전도율과 균일 구조를 갖는 경우, 성장 공정 동안의 열 전달은 더 일관성이있다. 이를 통해보다 균등하고 예측 가능한 성장률을 가능하게합니다. 반면, 낮은 품질의 종자 결정은 성장 속도의 변동을 일으킬 수있어 균일 한 치수 또는 내부 응력을 갖는 잉곳을 초래할 수 있습니다.
FZ Silicon Ingot 공급 업체로서의 경험에 따르면, 고품질 종자 크리스탈이 만들 수있는 차이점을 보았습니다. 상단 - 노치 종자 결정을 사용하면 우수한 품질, 고순도 및 정확한 방향으로 FZ 실리콘 잉곳을 생산할 수 있습니다. 이러한 잉곳은 반도체 산업에서 높은 수요가 많고 고성능 전자 장치를 제조하는 데 사용될 수 있기 때문입니다.
우리는2 인치 -8 인치 FZ 실리콘 잉곳. 이 잉곳은 최고 품질의 품질을 보장하기 위해 최고 품질의 종자 결정을 사용하여 재배됩니다.
FZ 실리콘 잉 가스 시장에 있다면 종자 결정의 품질이 최종 제품의 품질을 결정하는 데 중요한 요소라는 것을 알고 있습니다. 우리는 가능한 최고의 FZ 실리콘 잉곳을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 연구 목적, 반도체 제조 또는 기타 응용 분야를 위해 필요하든, 우리는 당신을 다루었습니다.
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참조
- SM SZE의 "실리콘 반도체 재료"
- DTJ Hurle이 편집 한 "Crystal Growth의 핸드북"