2", 3" 및 4" 인듐 비화물 웨이퍼

일반 사양

크기

2"

3"

4"

정위

(100)±0.1도

(100)±0.1도

(100)±0.1도

직경(mm)

50.5±0.5

76.2±0.4

100.0±0.5

오리엔테이션

EJ

EJ

EJ

용인

±0.1도

±0.1도

±0.1도

OF 길이(mm)

16±2

22±2

32.5±2.5

IF 길이(mm)

8±1

11±1

18±1

두께(μm)

500±25

625±25

1000±25

크기는 사용자 정의될 수 있습니다.

전도도 및 도펀트

도펀트

전도도 유형

CC/cm^-2

이동성/cm²V^-1S^-1

전위 밀도/cm^-2

도핑되지 않은

p형

(1~3)x10^-18

>2000

2",3",4" 1000보다 작거나 같음

요청 시 더 엄격한 전기 측정 기준을 제공할 수 있습니다.

평탄

표면

2"

3"

4"

광택/에칭

TTV(μm)

<10

<10

<15

활(μm)

<8

<8

<10

변형(μm)

<12

<12

<15

광택/광택

TTV(μm)

<5

<5

<5

활(μm)

<5

<5

<5

변형(μm)

<8

<8

<10