웨이퍼란 실리콘 반도체 회로를 만드는 데 사용되는 실리콘 웨이퍼를 말하며, 그 원재료는 실리콘이다. 고순도 폴리실리콘을 용해시킨 후 실리콘 결정 씨앗을 첨가한 후 천천히 뽑아내면 원통형 단결정 실리콘이 형성됩니다. 연삭, 연마, 슬라이싱을 거쳐 실리콘 결정봉이 실리콘 웨이퍼, 즉 웨이퍼를 형성합니다. 국내 웨이퍼 생산 라인은 주로 8인치와 12인치다.
웨이퍼의 주요 처리 방법은 시트 처리와 일괄 처리, 즉 하나 이상의 웨이퍼를 동시에 처리하는 것입니다. 반도체의 형상 크기가 점점 작아지고 처리 및 측정 장비가 점점 더 발전함에 따라 웨이퍼 처리에 새로운 데이터 특성이 등장했습니다. 동시에 피처 크기의 감소로 인해 공기 중 입자 수가 웨이퍼 처리 중 처리 후 웨이퍼의 품질과 신뢰성에 미치는 영향이 증가하고, 청결도가 향상됨에 따라 입자 수도 새로운 데이터 특성을 갖습니다. .
웨이퍼란 무엇입니까?
Oct 10, 2024
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